陣列式自動(dòng)光學(xué)檢測系統(tǒng)的誤差校正算法設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn).pdf

1、陣列式自動(dòng)光學(xué)檢測系統(tǒng)雖然突破了傳統(tǒng)自動(dòng)光學(xué)檢測系統(tǒng)檢測精度較低、速度較慢等問題，但同時(shí)也出現(xiàn)了新的問題，理論精度可以達(dá)到很高，但在實(shí)際應(yīng)用中無法達(dá)到理論精度。傳統(tǒng)的校正方式已不適合陣列式自動(dòng)光學(xué)檢測系統(tǒng)，而陣列式動(dòng)光學(xué)檢測系統(tǒng)已有的校正方式檢測精度達(dá)不到理論要求，需改善現(xiàn)有校正方案。為此，針對(duì)現(xiàn)有陣列式自動(dòng)光學(xué)檢測系統(tǒng)在原有校正方式基礎(chǔ)上，設(shè)計(jì)新方案校正來提高其精度。
　　 針對(duì)自動(dòng)光學(xué)檢測系統(tǒng)校正基準(zhǔn)存在的問題，在已有的算法

2、基礎(chǔ)上添加新的算法，通過治具校正來校正基準(zhǔn)誤差。治具設(shè)計(jì)過程中，針對(duì)每個(gè)校正方案的缺陷，設(shè)計(jì)新的算法和治具來消除誤差，解決了以前校正過程中沒有發(fā)現(xiàn)的校正板角度問題與放大率問題。最終應(yīng)用治具校取得的校正數(shù)據(jù)在靜止掃圖時(shí)最大的誤差僅有1個(gè)像素。
　　 針對(duì)機(jī)械運(yùn)動(dòng)誤差，設(shè)計(jì)基于卡方分配的線性校正算法，自動(dòng)在檢測過程校正機(jī)械運(yùn)動(dòng)誤差。通過治具校正和線性誤差補(bǔ)償后，拼圖效果有了效果很大的改善，達(dá)到了陣列式自動(dòng)光學(xué)檢測的理論精度，錫膏檢查