精密儀器用主動隔振系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)設(shè)計與分析.pdf

1、微振動是影響精密儀器、設(shè)備精度和性能的關(guān)鍵因素。隨著精密儀器設(shè)備精度的不斷提高，市場對精密隔振系統(tǒng)的性能要求也越來越高。本文參考現(xiàn)有的隔振系統(tǒng)設(shè)計方案，從隔振系統(tǒng)支撐方式、關(guān)鍵部件的布置、選型和設(shè)計以及隔振性能測試三個方面進行了相關(guān)研究。
　　本文分析隔振系統(tǒng)的隔振需求，參考現(xiàn)有隔振產(chǎn)品的性能參數(shù)，提出了主動隔振系統(tǒng)的設(shè)計要求和隔振系統(tǒng)的設(shè)計方案；對隔振系統(tǒng)結(jié)構(gòu)形式、傳感器和作動器的布置、彈性元件和作動器的選型設(shè)計進行了分析；建立

2、了線性化的隔振系統(tǒng)動力學模型。
　　對壓縮彈簧進行設(shè)計和分析校核；建立了壓縮彈簧的有限元模型，對壓縮彈簧軸向和徑向剛度以及屈曲模態(tài)進行了分析；測試了壓縮彈簧的軸向剛度，測試結(jié)果和有限元分析誤差為5.1％。
　　設(shè)計了臺面的詳細結(jié)構(gòu)；建立了上板結(jié)構(gòu)的有限元模型，分析其自由模態(tài)；進行上板的試驗?zāi)B(tài)測試，上板的一階模態(tài)固有頻率達到106.8Hz，測試結(jié)果和有限元分析結(jié)果的誤差在10%以內(nèi)。
　　計算了隔振系統(tǒng)的各階固有頻率；