基于磁流變彈性體的精密儀器廠房隔減振控制研究.pdf

1、隨著社會(huì)的發(fā)展和科技的不斷進(jìn)步，人們對(duì)精密儀器、設(shè)備的需求越來(lái)越多，尤其是光學(xué)工業(yè)、感光化學(xué)、航空航天和半導(dǎo)體工業(yè)，已經(jīng)步入精密、超精密時(shí)代。眾所周知，振動(dòng)對(duì)振敏型儀器、儀表、設(shè)備的工作穩(wěn)定性影響巨大，將導(dǎo)致其精度喪失、使用壽命縮短；然而，振動(dòng)無(wú)處不在，因而要保證精密儀器設(shè)備精密穩(wěn)定的工作性能，須對(duì)周?chē)h(huán)境振動(dòng)激勵(lì)進(jìn)行相應(yīng)控制。本文以精密儀器廠房為研究對(duì)象，通過(guò)廠房整體隔振和儀器工作平臺(tái)隔減振控制聯(lián)合控制措施，對(duì)其在環(huán)境激勵(lì)下的振動(dòng)控制

2、效果進(jìn)行了分析和討論。
　　首先，對(duì)精密儀器廠房所處環(huán)境激勵(lì)進(jìn)行分析，并模擬生成相應(yīng)的人工激勵(lì)（0~500 Hz）及其時(shí)程譜，為后續(xù)計(jì)算分析提供依據(jù)。繼而，利用有限元軟件ABAQUS，建立隔振溝對(duì)廠房整體隔振效應(yīng)分析模型；探索隔振溝深度、寬度、位置、填充物及數(shù)量等因素對(duì)其隔振效果的影響規(guī)律。結(jié)果表明：隔振溝位置越靠近激振點(diǎn)和拾振點(diǎn)，其減振效果越好；在一定范圍內(nèi)，減振效果隨隔振溝深度增加而增強(qiáng)，而寬度對(duì)減振效果影響不大；選擇填充物越

3、硬（剪切模量）減振效果越好；增加隔振溝數(shù)量其減振效果有明顯改變，但減振效果取決于較深隔振溝。
　　其次，基于課題組設(shè)計(jì)的MRE隔減振裝置，對(duì)其進(jìn)行磁路計(jì)算分析，結(jié)合磁流變彈性相關(guān)物理模型，提出能夠反映該裝置“出力”與電流關(guān)系的力學(xué)參數(shù)模型，并將理論分析結(jié)果與有限元仿真模擬結(jié)果進(jìn)行對(duì)比分析，結(jié)果表明：理論值與有限元模擬結(jié)果吻合較好。
　　最后，將加入MRE隔減振裝置和高阻尼隔振支座的精密儀器工作平臺(tái)進(jìn)行參數(shù)化建模，建立了能夠反