磁控濺射法制備YBCO原子層熱電堆薄膜研究.pdf

1、YBCO外延地生長在傾斜的SrTiO3襯底上時(shí)，YBCO薄膜表面法向與YBCO的c軸成α角，若有激光光沿z軸方向入射YBCO表面時(shí)，z軸有激光感生熱電電壓產(chǎn)生。這種熱電材料稱為原子層熱電材料。這種激光感生熱電電壓器件(LITV)具有響應(yīng)快(納秒到皮秒)、響應(yīng)光譜寬(光譜范圍從紫外到紅外)、靈敏度高、非制冷探測(cè)、高穩(wěn)定性、易集成、成本低廉的特點(diǎn)，有很廣闊的應(yīng)用前景。本文就YBCO的制備、薄膜的生長條件、不同條件對(duì)薄膜的影響，以及YBCO原

2、子層熱電堆進(jìn)行了研究：
　　 1、采用固相法制備YBCO，對(duì)不同的燒結(jié)溫度進(jìn)行了研究。分別對(duì)890℃、900℃、910℃、920℃、930℃溫度下制備的YBCO經(jīng)XRD分析發(fā)現(xiàn)，920℃溫度下制備的YBCO雜相少，質(zhì)量最好。
　　 2、采用直流磁控濺射法制備了YBCO薄膜，研究了YBCO薄膜生長過程中不同條件對(duì)薄膜生長的影響，包括不同總氣壓、氧氬比、厚度和退火溫度，通過XRD分析，當(dāng)總氣壓為40Pa、氧氬比為1:2、厚度