用于生物傳感器的納米氧化鎂薄膜的制備及特性研究.pdf

1、上世紀(jì)六十年代人們首先提出生物傳感器的概念，其具有高度的選擇性、極高的靈敏度、響應(yīng)快、樣品用量少、體積小、準(zhǔn)確度高等優(yōu)點(diǎn)。隨著社會(huì)的發(fā)展生物傳感器在分析生物技術(shù)中占有越來(lái)越重要的地位。隨著科學(xué)技術(shù)水平的提高，生物傳感器換能器的柵介質(zhì)材料已無(wú)法適應(yīng)發(fā)展的需要。因此，需要制備一種新型的納米薄膜來(lái)替代的SiO2。MgO具有高的介電常數(shù)、良好的絕緣性、成本低廉和制備方法簡(jiǎn)單等特點(diǎn)，具有成為替代SiO2的可能。本文主要研究?jī)?nèi)容如下:
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2、、對(duì)用SiO2納米薄膜做生物傳感器換能器的絕緣柵介質(zhì)材料的局限性進(jìn)行了總結(jié)。隨著SiO2薄膜的變薄將造成漏電流增大、氧化不均等，這些不足將造成MOS場(chǎng)效應(yīng)管性能的下降。提出了新型高介電常數(shù)材料的要求。
　　2、磁控濺射法是制備納米MgO薄膜的重要手段，但是其成膜的均勻性限制了其被廣泛的應(yīng)用。本文建立了一個(gè)有關(guān)磁控濺射靶材分子運(yùn)動(dòng)過(guò)程的物理模型，通過(guò)推導(dǎo)得到基片上膜厚分布的等式，并通過(guò)實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證。
　　3、利用磁控濺射法在硅基片