用于濺射靶材的鈷基合金及細晶純金屬微觀組織的研究.pdf

1、本文利用光學顯微鏡（OM）、X射線衍射（XRD）、掃描電鏡（SEM）、透射電鏡（TEM）和電子背散射衍射（EBSD）分析了鑄造的非晶成分鈷基合金濺射靶材的微觀組織，用SEM中的能譜（EDS）確定了各組成相的成分，用差示掃描量熱儀（DSC）測量了合金的熔點和各組織形成溫度。微觀組織分析結(jié)果顯示鑄造非晶成分鈷基合金中僅殘存非常少量的孔隙，各組成相尺寸細小、分布均勻?；阼T造合金的微觀組織和DSC結(jié)果，對凝固過程中微觀組織形成和演化進行了分析

2、和討論。
　　在不同溫度和不同壓縮比下，對純鋁、純銅進行了多向壓縮（MAC）變形,并對變形的純鋁、純銅進行退火已使其發(fā)生再結(jié)晶，利用微觀硬度計和光學顯微鏡（OM），研究了純鋁、純銅在不同溫度、不同壓縮比變形過程中微觀硬度和組織，研究了變形純鋁、純銅退火后的硬度和微觀組織。研究結(jié)果表明：常溫下壓縮純鋁過程中發(fā)現(xiàn)，硬度隨壓縮道次沒有顯著變化，分析認為純鋁層錯能高，也不存在第二相釘扎位錯，易引起動態(tài)回復；隨后實驗采用提高壓縮比和降低溫度