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文檔簡介
1、諧振式微機械壓力傳感器具有尺寸小、精度高、穩(wěn)定性好、易與數(shù)字電路接口等優(yōu)點，在壓力檢測領(lǐng)域有著廣闊的應(yīng)用前景。精確測量是諧振式微機械壓力傳感器研究的目標，驅(qū)動檢測電路的性能優(yōu)劣直接影響整體器件測量效果，本論文主要針對諧振式微機械壓力傳感器驅(qū)動檢測電路展開研究。
論文首先簡單回顧了MEMS技術(shù)及壓力傳感器的分類，對諧振式壓力傳感器的激勵方式及接口電路做了簡要介紹;其次分析了微機械諧振式壓力傳感器的結(jié)構(gòu)和工作原理，比較了不同的變電
2、容檢測方式，并討論了各自的優(yōu)缺點;在此基礎(chǔ)上，理論分析了諧振式壓力傳感器基于AGC控制技術(shù)和基于PLL控制技術(shù)的兩種閉環(huán)驅(qū)動方式的基本原理和運行特性，通過建立傳感器與驅(qū)動電路的Simulink仿真模型，分別對基于直流自動增益和交流自動增益控制技術(shù)的兩種AGC閉環(huán)驅(qū)動回路進行了對比研究，確定了本課題的交流AGC技術(shù)方案。然后基于交流AGC控制回路，仿真了不同諧振子參數(shù)及接口電路參數(shù)下系統(tǒng)的振蕩特性。利用Mu1tisim軟件對驅(qū)動檢測模塊電
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