偏振相移顯微干涉超精表面形貌測量研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、表面形貌是影響產(chǎn)品零部件功能特性的重要特征。隨著現(xiàn)代光學(xué)、光電子信息技術(shù)以及航空航天技術(shù)等的發(fā)展，表面形貌超精密測量與分析評價，面臨廣泛需求。本文提出了將偏振相移(Polarizied phase-shifting-PPS)技術(shù)與Michelson干涉顯微鏡相結(jié)合的偏振相移顯微干涉測量方法，以滿足超精密表面形貌測量，具有創(chuàng)新性和實用性。
　　 論文首先從工程實際應(yīng)用出發(fā)，分析了現(xiàn)有測量方法的諸多不足，提出了將偏振相移技術(shù)(PPS

2、)與Michelson干涉顯微鏡相結(jié)合的偏振相移顯微干涉測量方法，建立了偏振相移的理論分析模型。
　　 其次，設(shè)計了結(jié)構(gòu)簡單、高精度的偏振移相單元以及穩(wěn)定可靠的參考鏡位姿調(diào)整機構(gòu)，進而研制出了基于偏振相移顯微干涉超精密表面形貌測量系統(tǒng)。
　　 第三，在VC++平臺上設(shè)計開發(fā)了與系統(tǒng)配套的，集圖像采集、數(shù)據(jù)處理、三維形貌顯示以及部分表面輪廓參數(shù)評定為一體的測量軟件。
　　 第四，對系統(tǒng)進行了實驗比對測試，驗證了該系

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