用于超光滑表面的多光束干涉顯微測(cè)頭的研究.pdf

1、本論文研究的主要內(nèi)容是設(shè)計(jì)一套用于超光滑表面的多光束干涉顯微測(cè)頭。系統(tǒng)主要部分為光學(xué)結(jié)構(gòu)部分，輔助部分為信號(hào)處理電路部分。光學(xué)測(cè)頭最重要的性能之一是系統(tǒng)的分辨力，而光學(xué)結(jié)構(gòu)是保證系統(tǒng)分辨力的核心。
　　光學(xué)結(jié)構(gòu)分為兩個(gè)部分進(jìn)行設(shè)計(jì)：1)多光束干涉；2)共焦顯微。其中多光束干涉用于保證系統(tǒng)的軸向分辨力，共焦顯微技術(shù)用于快速準(zhǔn)確的尋找系統(tǒng)工作區(qū)域和為下一步的橫向分辨力測(cè)試做技術(shù)積累。信號(hào)處理電路分為三種：1)光電轉(zhuǎn)換電路；2)信號(hào)調(diào)理

2、電路；3)濾波電路。光電轉(zhuǎn)換電路用以實(shí)現(xiàn)光強(qiáng)信號(hào)到電壓信號(hào)的轉(zhuǎn)變，信號(hào)調(diào)理電路根據(jù)光學(xué)信號(hào)的特點(diǎn)來(lái)完成對(duì)兩路電壓信號(hào)的預(yù)處理，濾波電路用以消除環(huán)境帶來(lái)的噪音及干擾保證系統(tǒng)分辨力。
　　本論文完成以下工作：
　　1)設(shè)計(jì)了具有差動(dòng)光路的共焦多光束干涉顯微測(cè)頭的光路結(jié)構(gòu)；
　　2)介紹光路結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)中用到的多光束干涉理論和共焦顯微技術(shù)的基本理論；
　　3)推導(dǎo)光學(xué)系統(tǒng)的干涉條紋分布曲線；
　　4)設(shè)計(jì)光學(xué)參數(shù)，包