晶圓傳輸機器人末端執(zhí)行器設計與關鍵技術研究.pdf

1、半導體加工制造業(yè)要求加工運輸設備需要具有高潔凈等級、防靜電、高可靠性等特點，所以半導體制造環(huán)境下所用的機器人在滿足基本搬運要求的同時還要兼顧上述特點，晶圓傳輸機器人在半導體制造業(yè)地位非常重要，所以有必要對其進行系統(tǒng)的研究。
　　本文主要工作如下:
　　(1)分析R-θ型晶圓傳輸機器人的主體結構，對末端執(zhí)行器的重要性能指標，即晶圓在支撐接觸時的變形進行了分析，奠定了末端執(zhí)行器的設計方向，確定了末端執(zhí)行器的設計方式和具體構型，完

2、成了對滿足工位要求的末端執(zhí)行器的設計，并對先前的設計進行了改進。
　　(2)建立了晶圓傳輸機器人系統(tǒng)的動力學模型，并在此基礎上進行了計算分析，得出了機器人系統(tǒng)各參數的表達式，對同步帶等效扭轉彈簧的振動模型進行了分析，在電機軸端建立了振動控制模型，并仿真分析，得出了機器人末端執(zhí)行器振動影響因子，為振動抑制提供了控制算法基礎。
　　(3)針對機器人系統(tǒng)設置誤差參數，建立數學模型，通過仿真分析計算驗證了標定算法的可行性，編寫了標定