AOI技術在PCB瑕疪檢測中的應用.pdf

1、近年來隨著IC產(chǎn)業(yè)的突飛猛進和特種元器件的不斷推出，使得單位面積的引腳數(shù)大幅度地增加，因而PCB(Printed Circuit Board，印刷電路板)產(chǎn)品也向著超薄型、小元件、高密度、細間距方向快速發(fā)展，達到微米級的程度。傳統(tǒng)的人工目測已不能完全適應當今制造技術發(fā)展的需要，很容易造成誤檢和漏檢，因此如何尋找一種高效、自動、快速的PCB瑕疵檢測方法成為半導體生產(chǎn)領域亟待解決的一個問題。
　　 AOI(Automatic Opt

2、ic Inspection，自動光學檢測)是近幾年興起的基于光學原理的檢測技術，集光學、電子、機械、計算機圖像處理于一身，因其具有高效、智能的特性，通常把AOI系統(tǒng)置于生產(chǎn)線上的關鍵位置，監(jiān)控具體生產(chǎn)狀況，并為生產(chǎn)工藝的調(diào)整提供必要的依據(jù)。
　　 本文將AOI技術應用到PCB光板的瑕疵檢測中，實現(xiàn)PCB光板的自動在線瑕疵檢測，取代傳統(tǒng)的人工目測，提高PCB的產(chǎn)量。針對PCB光板上常見的瑕疵種類，提出總體的解決方案，包括照明系統(tǒng)、

3、取像系統(tǒng)、運動機構及圖像處理系統(tǒng)，其中圖像處理系統(tǒng)的解決方案是本論文的核心，著重研究圖像預處理、圖像分割、圖像配準、瑕疵識別等幾個部分算法的選取和設計，并針對目前大多數(shù)PCB檢測系統(tǒng)缺乏瑕疵幾何尺寸測量能力的情況，將圖像標定技術應用到系統(tǒng)中，最后根據(jù)所選取的算法進行軟件編寫從而實現(xiàn)對PCB光板進行瑕疵識別和幾何尺寸測量。
　　 測試結果表明，根據(jù)本文中的瑕疵判定準則編寫的軟件能較好地識別PCB上存在的孔徑偏移、蝕刻過量、缺孔、孔