基于介電潤(rùn)濕效應(yīng)的液體場(chǎng)效應(yīng)管的研制.pdf

1、隨著科技的進(jìn)步，器件的微型化已經(jīng)成為未來發(fā)展的趨勢(shì)。微流控技術(shù)是解決器件微型化困難的關(guān)鍵技術(shù)。其中，基于介質(zhì)上電潤(rùn)濕效應(yīng)的驅(qū)動(dòng)技術(shù)被認(rèn)為是最具發(fā)展前途的微流控技術(shù)之一。鑒于傳統(tǒng)半導(dǎo)體場(chǎng)效應(yīng)管存在著漏電流較大、存在漏電流飽和的問題，本文研制基于介電潤(rùn)濕效應(yīng)的液體場(chǎng)效應(yīng)管，并對(duì)其進(jìn)行性能表征。
　　論文主要內(nèi)容包括以下幾個(gè)部分：
　　第一部分介紹了介電潤(rùn)濕和半導(dǎo)體場(chǎng)效管的研究現(xiàn)狀和研究背景，提出了基于介電潤(rùn)濕效應(yīng)的液體場(chǎng)效管研制

2、的必要性和意義。
　　第二部分介紹了液體場(chǎng)效應(yīng)管的結(jié)構(gòu)、工作原理與制作流程。液體場(chǎng)效應(yīng)管是由KCl溶液、正十二烷、絕緣層、疏水親油層、源漏電極、柵極、疏水網(wǎng)格以及親水網(wǎng)格組成。
　　第三部分從實(shí)驗(yàn)與仿真對(duì)基于介電潤(rùn)濕效應(yīng)的液體場(chǎng)效應(yīng)管進(jìn)行了性能表征。實(shí)驗(yàn)方面，研究了KCl導(dǎo)電鹽溶液在空氣和正十二烷中的電潤(rùn)濕現(xiàn)象，采集了基于介電潤(rùn)濕效應(yīng)的液體場(chǎng)效應(yīng)管的電潤(rùn)濕現(xiàn)象，記錄了液體場(chǎng)效應(yīng)管在不同柵極電壓下源漏極之間的電流-電壓數(shù)據(jù)；仿