半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備運(yùn)行管理系統(tǒng)的研究與應(yīng)用.pdf

1、在半導(dǎo)體生產(chǎn)企業(yè)當(dāng)中，生產(chǎn)設(shè)備是半導(dǎo)體企業(yè)進(jìn)行生產(chǎn)性經(jīng)營(yíng)活動(dòng)的物質(zhì)基礎(chǔ)。隨著半導(dǎo)體技術(shù)在近三十多年中的迅猛發(fā)展，其行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)也在急劇增強(qiáng)。因此，如何管理和使用好這些半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備，提高生產(chǎn)設(shè)備管理水平對(duì)提高半導(dǎo)體生產(chǎn)企業(yè)在行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)中的實(shí)力和促進(jìn)企業(yè)進(jìn)步與發(fā)展都有著十分重要的意義。
　　隨著半導(dǎo)體行業(yè)的不斷發(fā)展進(jìn)步，對(duì)設(shè)備管理系統(tǒng)的研究和開發(fā)，也提出了更高的要求。設(shè)備管理系統(tǒng)不僅是單純地對(duì)設(shè)備自身方面的管理，如設(shè)備資產(chǎn)折舊管理，設(shè)備備

2、件管理等，更需要管理系統(tǒng)和設(shè)備的生產(chǎn)運(yùn)行方面聯(lián)系起來，需要考慮管理系統(tǒng)如何讓設(shè)備在生產(chǎn)運(yùn)行過程中提高使用率，減少不良率的產(chǎn)生，增加企業(yè)效益。并且這些已經(jīng)逐步成為企業(yè)在當(dāng)前半導(dǎo)體行業(yè)激烈競(jìng)爭(zhēng)情況下的普遍要求。論文設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備運(yùn)行管理系統(tǒng)就是圍繞該主題展開的，該論文通過研究和利用半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的日志文件，從日志文件中提取有效的設(shè)備運(yùn)行信息，如PCS(工藝控制系統(tǒng))參數(shù)，設(shè)備報(bào)警代碼等，以獲取設(shè)備實(shí)時(shí)準(zhǔn)確的運(yùn)行狀態(tài)。通過分析這些狀

3、態(tài)對(duì)設(shè)備進(jìn)行有效地維護(hù)，使設(shè)備始終保持在最佳運(yùn)行狀態(tài)下運(yùn)行。并且該系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了對(duì)設(shè)備維修過程的跟蹤記錄，維修升級(jí)請(qǐng)求和最佳維修方法的全面管理。實(shí)現(xiàn)了半導(dǎo)體企業(yè)在HVM（大規(guī)模生產(chǎn)）模式下對(duì)生產(chǎn)設(shè)備運(yùn)行的系統(tǒng)化管理。
　　本文首先介紹了系統(tǒng)中的各項(xiàng)概念，針對(duì)系統(tǒng)的各項(xiàng)需求進(jìn)行了細(xì)致的分析，然后按照需求對(duì)系統(tǒng)的各個(gè)組成部分進(jìn)行了合理的設(shè)計(jì)，提前處理了技術(shù)中的重點(diǎn)和難點(diǎn)。通過原型設(shè)計(jì)，功能模塊設(shè)計(jì)，程序流程設(shè)計(jì)和數(shù)據(jù)庫設(shè)計(jì)等，并結(jié)合計(jì)算機(jī)

4、軟件設(shè)計(jì)相關(guān)知識(shí)逐步完成了整個(gè)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)，并最終實(shí)現(xiàn)了一個(gè)完備健壯的系統(tǒng)。系統(tǒng)開發(fā)和運(yùn)行的平臺(tái)使用的是微軟的Visual Studio平臺(tái)，使用C＃語言進(jìn)行開發(fā)，另外使用了部分批處理文件對(duì)日志文件的處理，數(shù)據(jù)庫使用的是MySQL。由于系統(tǒng)的使用者為企業(yè)員工，包括辦公室和生產(chǎn)線上所有網(wǎng)絡(luò)中的用戶，網(wǎng)絡(luò)分布分散，為了便于用戶隨時(shí)隨地的接入使用，同時(shí)為了易于部署和升級(jí)，采用了瀏覽器的使用方式。
　　本文研究了半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備運(yùn)行智能化的管