用于硅基氮化鎵可調微鏡的梳齒型微驅動器的研究.pdf

1、基于微機電系統(tǒng)(MEMS)技術的可調微鏡在通信、計算、投影、成像等領域具有較好的發(fā)展趨勢。微驅動器作為一種驅動機構，為實現(xiàn)微鏡的連續(xù)可調提供了關鍵的技術支撐。近年來，微驅動器在結構的設計上已經(jīng)比較成熟，但使用材料仍相對比較單一。氮化鎵作為新一代半導體的代表，與無法自行發(fā)光的傳統(tǒng)硅材料相比，是一種理想的短波長發(fā)光材料。它與硅基材料有著不同的物理特性，因此把氮化鎵材料集成到硅基光微機電系統(tǒng)從而制備新型微系統(tǒng)或微器件可以擴展MEMS的適用領域

2、?；陟o電驅動的梳齒型微驅動器是一種性能優(yōu)良的驅動方式，具有無遲滯、響應快、動態(tài)范圍大等優(yōu)點，在微驅動器中有著最廣泛的應用。
　　本文提出并設計了一種用于硅基氮化鎵(GaN)可調微鏡的梳齒型微驅動器。首先介紹了MEMS系統(tǒng)的概念、應用以及發(fā)展現(xiàn)狀，描述了氮化鎵材料的特性和課題研究的背景及意義，概述了靜電梳齒型驅動的基本原理。然后利用有限元軟件COMSOL Multiphysics建立了該器件的幾何結構模型，對器件的結構(梳齒間隔、