2023年全國(guó)碩士研究生考試考研英語一試題真題（含答案詳解+作文范文）_第1頁
已閱讀1頁，還剩64頁未讀， 繼續(xù)免費(fèi)閱讀

下載本文檔

版權(quán)說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡(jiǎn)介

1、旋轉(zhuǎn)梳齒驅(qū)動(dòng)器是MEMS靜電驅(qū)動(dòng)中常用的重要部件。現(xiàn)有的典型旋轉(zhuǎn)梳齒驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)有三個(gè)自由度，其中橫向自由度對(duì)驅(qū)動(dòng)器的性能影響較大，導(dǎo)致旋轉(zhuǎn)角度偏小、響應(yīng)非線性化嚴(yán)重。雙間隙旋轉(zhuǎn)梳齒驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)減小了橫向位移，使旋轉(zhuǎn)角度和響應(yīng)線性化有所改善，但是，由于減小了電容變化率，導(dǎo)致驅(qū)動(dòng)電壓較大。并且雙間隙旋轉(zhuǎn)梳齒驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)采用齒根變薄的方法，降低了齒的彈性系數(shù)，使動(dòng)齒和固齒容易接觸短路?！　♂槍?duì)已有旋轉(zhuǎn)梳齒驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)的缺陷，結(jié)合MEMS標(biāo)準(zhǔn)化的要求，設(shè)計(jì)

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽，若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫(kù)僅提供信息存儲(chǔ)空間，僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理，對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容，請(qǐng)與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

最新文檔

評(píng)論

0/150

提交評(píng)論