2023年全國(guó)碩士研究生考試考研英語(yǔ)一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁(yè)
已閱讀1頁(yè),還剩69頁(yè)未讀, 繼續(xù)免費(fèi)閱讀

下載本文檔

版權(quán)說(shuō)明:本文檔由用戶(hù)提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡(jiǎn)介

1、具有原位力學(xué)測(cè)試和長(zhǎng)度計(jì)量功能的具有原位力學(xué)測(cè)試和長(zhǎng)度計(jì)量功能的AFM測(cè)頭的研究測(cè)頭的研究StudyonanAFMheadwithfunctionsofinsitunanomechanicalmeasurementlengthtraceability學(xué)科專(zhuān)業(yè):儀器科學(xué)與技術(shù)研究生:曾薈燕指導(dǎo)教師:李艷寧教授天津大學(xué)精密儀器與光電子工程學(xué)院二零一三年十二月摘要納米壓劃痕儀、原子力顯微鏡(AtomicFceMicroscopy,AFM)等是

2、實(shí)現(xiàn)納米力學(xué)測(cè)試的有力工具。納米壓劃痕儀對(duì)樣品加載卸載完成后,常借助掃描探針顯微鏡(ScanningProbeMicroscopy,SPM)實(shí)現(xiàn)測(cè)試點(diǎn)的掃描成像,所以沒(méi)有原位測(cè)試功能。AFM探針的驅(qū)動(dòng)單元和位移檢測(cè)單元是其核心組成部分,在一定程度上決定了AFM的性能。商用AFM(DimensionEdgeAFM除外)沒(méi)有位移計(jì)量功能,探針位移進(jìn)給值通過(guò)壓電陶瓷的電壓值推算得到,不能保證準(zhǔn)確性。本論文研制了一款具有原位力學(xué)測(cè)試和長(zhǎng)度計(jì)量功

3、能的AFM測(cè)頭,采用電容傳感器作為位移計(jì)量傳感器實(shí)現(xiàn)探針位移的準(zhǔn)確測(cè)量。力學(xué)測(cè)試完成后,無(wú)需移動(dòng)樣品,測(cè)頭即可對(duì)測(cè)試點(diǎn)進(jìn)行原位掃描成像。測(cè)頭由壓電陶瓷與柔性鉸鏈相結(jié)合的精密驅(qū)動(dòng)單元、環(huán)形電容傳感器的位移檢測(cè)單元和光學(xué)系統(tǒng)組成。測(cè)頭可實(shí)現(xiàn)探針的最大位移進(jìn)給量為3μm,分辨力優(yōu)于10nm,測(cè)頭可以很好地滿(mǎn)足高準(zhǔn)確度的原位納米力學(xué)測(cè)試需求。本論文的主要工作包括:1.分析了納米壓痕儀、原子力顯微鏡、掃描電鏡等常用納米力學(xué)測(cè)試儀器優(yōu)點(diǎn)和不足,針對(duì)

4、它們的不足,提出了一種具有原位測(cè)試和長(zhǎng)度計(jì)量功能的AFM測(cè)頭,明確了課題的研究目的、意義和主要內(nèi)容。2.針對(duì)AFM測(cè)頭的精密驅(qū)動(dòng)單元設(shè)計(jì),提出了一種基于柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)的機(jī)械結(jié)構(gòu),并利用ANSYS有限元對(duì)其進(jìn)行靜力學(xué)和動(dòng)力學(xué)仿真分析,實(shí)現(xiàn)了結(jié)構(gòu)的優(yōu)化。3.針對(duì)AFM測(cè)頭的位移檢測(cè)單元,設(shè)計(jì)了帶有中間通光孔的環(huán)形電容傳感器,利用ANSYS有限元對(duì)其進(jìn)行靜電場(chǎng)仿真分析,優(yōu)化尺寸設(shè)計(jì)。4.針對(duì)精密驅(qū)動(dòng)單元和位移檢測(cè)單元分別設(shè)計(jì)了高壓驅(qū)動(dòng)電路和傳感

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無(wú)特殊說(shuō)明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶(hù)所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒(méi)有圖紙預(yù)覽就沒(méi)有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫(kù)僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對(duì)用戶(hù)上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對(duì)用戶(hù)上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請(qǐng)與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶(hù)因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

最新文檔

評(píng)論

0/150

提交評(píng)論