氮化硅陶瓷滾子的化學機械復合拋光技術研究.pdf

1、陶瓷滾子軸承在高速輕載、高溫、腐蝕及絕緣環(huán)境下具有良好的工作性能，但目前陶瓷滾子的拋光加工效率還較低，因此，研究提高陶瓷滾子拋光加工效率的技術方法就顯得很有必要。
　　磁流變超聲波復合拋光技術，是將化學、聲學、電磁學、流體力學等多種作用綜合應用于拋光過程中，能夠在保證拋光效率的同時顯著提高工件表面質量。本文將該技術應用于氮化硅陶瓷滾子的拋光過程中并進行了一系列研究，主要研究內容包括：
　　1、對拋光系統中的超聲拋光系統進行設

2、計研究。根據超聲加工的相關理論以及拋光試驗的具體要求，提出對超聲拋光系統各組成部件的性能要求，進而對各部件進行選取和設計計算；
　　2、對拋光試驗用的水基磁流變拋光液進行研究和配制。根據水基磁流變拋光液的性能特點、各組分的作用以及氮化硅材料的特點，對水基磁流變液的各組分進行選取，并制定出合適的配制方法；
　　3、對拋光過程的材料去除機理進行研究。在傳統的材料去除理論基礎上，針對磁流變超聲波復合拋光技術的特點，根據 Prest