面向精密主動減振的洛侖茲電機及其驅動器研究.pdf

1、洛侖茲電機是一種以洛侖茲力直接驅動的永磁直流作動器,具有結構簡單、動態(tài)響應快、線性性好等特點,被廣泛地用作精密直線運動的驅動裝置,如光刻機微運動工作臺的驅動電機、精密主動減振器的作動器等。洛侖茲電機通過驅動電流控制電機阻尼力的大小和方向。論文針對一種用于 IC制造裝備的超精密主動減振器,設計了用于主動減振器的洛侖茲電機及其驅動器。
　　首先,本文簡要闡述了洛侖茲電機的工作原理和特點,計算出了電機的推力常數(shù)、電感和電阻等參數(shù)。在參數(shù)

2、計算的基礎上,自行設計了一套推力常數(shù)為68N/A的洛侖茲電機
　　其次,詳細介紹了洛侖茲電機驅動器的硬件設計,包括電流調節(jié)器電路、橋式功率轉換電路、電流反饋電路、保護電路和補償電路的設計,繪制了驅動器的印制電路板,建立了驅動器的數(shù)學模型。研制出了驅動帶寬至少為3kHz,電流控制精度達0.1mA,電流紋波小于1mA的高性能洛侖茲電機驅動器。
　　最后,設計出了洛侖茲電機測試平臺,分別對電機的動態(tài)性能和靜態(tài)性能進行了測試。從振動