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文檔簡介
1、透明導電氧化物薄膜具有高的載流子濃度和較寬的光學能隙，因而表現(xiàn)出優(yōu)良的光電性能，如低的電阻率和在可見光范圍內(nèi)高的透光率。目前，透明導電氧化物薄膜主要包括SnO2，In2O3，ZnO及上述氧化物的摻雜體系。近年來，ZnO薄膜成為國內(nèi)外薄膜材料工作者的研究熱點之一。摻雜Al的ZnO(ZnO：Al，AZO)薄膜，由于具有與ITO薄膜相比擬的對可見光的高透光率和高電導率，又因其在氫等離子體中的高穩(wěn)定性等優(yōu)點，已成為替代ITO透明導電薄膜的研究熱
2、點。 本文采用溶膠-凝膠(Sol-Gel)工藝，以二水合醋酸鋅為反應前驅(qū)體、單乙醇胺為穩(wěn)定劑、乙二醇甲醚為溶劑、六水合氯化鋁為摻雜劑制備溶膠，用旋涂法在普通玻璃基體上制備出了AZO透明導電薄膜。 采用X射線衍射(XRD)、掃描電子顯微鏡(SEM)、四探針法、紫外-可見分光光度計(UV-VIS)等分析方法對不同工藝條件制備的AZO薄膜的表面形貌、晶體結(jié)構(gòu)、電學性能以及光學性能進行了表征。結(jié)果表明：所制備的AZO薄膜為六角纖
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