多維坐標結(jié)晶器內(nèi)腔尺寸自動測量機的研制.pdf

1、　　三坐標測量機(CMM)是一種通用性強、自動化程度高、高精度、高效率的測量系統(tǒng)，在先進制造技術(shù)和科學研究中有著極為廣泛的應(yīng)用。它將幾何元素的測量轉(zhuǎn)化為幾何元素上點集坐標位置的測量，并通過數(shù)據(jù)處理軟件按一定的算法和評定準則得到幾何元素的尺寸、形狀、相對位置及誤差。三坐標測量機以精密機械為基礎(chǔ)，綜合應(yīng)用了光學、電子技術(shù)、計算機技術(shù)等先進技術(shù)。它主要包括測量機機體、電氣系統(tǒng)、測頭和軟件系統(tǒng)四大部分?！　”菊n題受企業(yè)委托，研制一臺專門用于工

2、字鋼結(jié)晶器內(nèi)腔尺寸測量的測量機。該尺寸測量機的實質(zhì)就是一臺三坐標測量機，具有一般三坐標測量機的常用功能。本文主要結(jié)合課題的實際研究過程，介紹了多維坐標結(jié)晶器內(nèi)腔尺寸自動測量機的研制情況。主要包括尺寸測量機主機的機械結(jié)構(gòu)設(shè)計、電氣系統(tǒng)的選型和使用以及軟件部分。測量機的軟件部分又包括測量數(shù)學模型的建立、測頭的校正、坐標系的建立、測量運動的控制、測量路徑的規(guī)劃等等?！　”菊n題的機械部分和電氣部分已經(jīng)基本完成，本文中建立的軟件部分也可以在VC