全量程超高壓力薄膜傳感器研究.pdf

1、　　本文通過(guò)傳感器的結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計(jì)、敏感材料和封裝材料的選擇以及工藝參數(shù)優(yōu)化，制作出新型的薄膜化的錳銅陣列式傳感器和鐿傳感器，經(jīng)過(guò)高壓測(cè)試，取得了比較理想的實(shí)驗(yàn)結(jié)果，其主要結(jié)論和創(chuàng)新性結(jié)果歸納如下：　　1、首次在99﹪氧化鋁陶瓷基片上制作出2×2陣列錳銅薄膜傳感器，4個(gè)傳感器在基片上呈對(duì)稱性分布，敏感薄膜放置在沖擊波的作用范圍內(nèi)，經(jīng)過(guò)二級(jí)輕氣炮加載，壓力作用范圍在50～70GPa，4個(gè)傳感器輸出的一致性好，無(wú)高壓旁路效應(yīng)。　　2、首次

2、采用磁控濺射的方法制作出鐿薄膜傳感器，通過(guò)一級(jí)輕氣炮進(jìn)行加載實(shí)驗(yàn)，測(cè)試壓力在1～3GPa，壓阻系數(shù)接近于箔式鐿傳感器，重復(fù)性較好，實(shí)現(xiàn)了傳感器的小型化和微型化?！　?、研究了熱處理對(duì)薄膜傳感器微觀形貌和壓阻特性的影響，研究結(jié)果表明，薄膜傳感器經(jīng)過(guò)熱處理后，薄膜晶粒增大，缺陷減少，大大提高了薄膜的壓阻靈敏度。經(jīng)過(guò)熱處理后的薄膜傳感器，其壓阻系數(shù)接近于文獻(xiàn)報(bào)道的箔式傳感器的壓阻系數(shù)?！　?、采用氧化鋁材料為基制作的“后置式”2×2陣列錳