箔式錳銅超高壓力傳感器的研究.pdf

1、錳銅壓力傳感器是一種特種的壓力傳感器，主要用于測量沖擊波產生的超高壓力，其量程上限可達100GPa，是現(xiàn)有壓力傳感器中測壓量程最高的。為滿足國防重點工程的特殊需要，須進一步提高壓力傳感器的測試精度、拓寬測試壓力的范圍，并使其進一步微小型化。本文通過傳感器的結構設計、絕緣材料的研究、以及采用新的傳感器制備工藝，研制出了一種新型的箔式錳銅壓力傳感器，這種高壓力傳感器的主要特點和本論文的創(chuàng)新性歸納如下： 首次采用無機材料作為箔式錳銅壓

2、力傳感器的絕緣層。在錳銅箔上采用薄膜工藝雙面沉積Al2O3薄膜。上述技術的主要優(yōu)點在于采用在高壓力絕緣性能好的三氧化二鋁作為絕緣封裝材料，而代替現(xiàn)有箔式錳銅計中所使用的粘膠劑及PTFE膜，從而在根本上消除了高壓旁路效應，拓寬傳感器的測壓上限范圍。 提出并采用薄膜工藝實現(xiàn)箔式傳感器的內引線，以消除傳統(tǒng)箔式錳銅傳感器中因焊接銅引線而引起的厚度不均勻現(xiàn)象，以確保后續(xù)的薄膜制備中的可靠性。 通過二級輕氣炮壓力測試數(shù)據(jù)表明，該傳感