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文檔簡介
1、該論文介紹了電子束縮小投影曝光機標記信號檢測及對準技術的相關系統(tǒng)設計、流程設計、算法設計等,給出了實驗數(shù)據(jù)和結果,實現(xiàn)了3б為45nm的檢測精度.在電子束縮小投影曝光系統(tǒng)對準技術的原理實驗中,介紹了電子束縮小投影曝光機對準系統(tǒng)的構成及原理,闡述了數(shù)字處理技術在對準系統(tǒng)中的應用,以及對準數(shù)據(jù)的產(chǎn)生及數(shù)字處理的軟件設計,并給出實際測試結果.原理實驗驗證了使用數(shù)字信號處理技術處理背散射電子（BSE）信號的可行性.實驗中設計出用于電子束縮小投影
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