可變矩形電子束曝光機(jī)圖形數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換軟件的實(shí)用化研制.pdf

1、該論文介紹了文中所實(shí)現(xiàn)的微機(jī)版可變矩形電子束曝光機(jī)圖形數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換軟件的相關(guān)系統(tǒng)設(shè)計(jì)、流程設(shè)計(jì)、算法設(shè)計(jì)等.該軟件將通用圖形數(shù)據(jù)格式CIF轉(zhuǎn)換成JBX-6AII曝光機(jī)專用格式JEOL51.經(jīng)試驗(yàn)驗(yàn)證,初步達(dá)到實(shí)用化水準(zhǔn).該軟件分為兩層,核心層和交互層.其中核心層封裝了所有相關(guān)算法,采用純C/C++實(shí)現(xiàn),具有良好的可移植性.交互層基于MFC實(shí)現(xiàn).核心層中轉(zhuǎn)換過程劃分為源文件解析模塊、轉(zhuǎn)換模塊和目標(biāo)文件輸出模塊,其中轉(zhuǎn)換模塊又按照流程分為窗口裁

2、剪、二維變換、尺寸修正、主場分割、子場分割、輪廓化、黑白翻轉(zhuǎn)、自分割、束斑分割、校驗(yàn)等環(huán)節(jié).論文著重介紹了這些環(huán)節(jié)的算法實(shí)現(xiàn).該文采用遞歸下降法解析CIF語法,并總結(jié)出一套較為通用的版圖描述語言解析規(guī)則,該規(guī)則可以推廣到對(duì)其它形式語言的解析過程中去.該文提出了新的處理有向環(huán)運(yùn)算過程中重復(fù)交點(diǎn)的策略,該策略能夠全面適應(yīng)文中有向多邊形的集合運(yùn)算.該文提出“線切割”的概念,并且成功以此為基礎(chǔ)設(shè)計(jì)了系列相關(guān)算法.該概念在該文中占有很重要的地位.