紫外LED光纖光刻系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf

1、無(wú)掩膜光刻技術(shù)是光刻技術(shù)重要的發(fā)展方向之一，在制作圖案的過(guò)程中，不需要修改昂貴的光掩膜，只需修改計(jì)算機(jī)中的數(shù)據(jù)，特別適合單件小批、產(chǎn)品試制、實(shí)驗(yàn)研究等，是最近幾年研究的熱點(diǎn)。本文將新興的紫外LED發(fā)光技術(shù)與光纖技術(shù)相結(jié)合，提出了基于紫外LED和光纖的無(wú)掩膜光刻系統(tǒng)，具有微型化、低成本、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單等優(yōu)點(diǎn)，具有重要的研究意義。
　　 本文在分析各種無(wú)掩膜光刻技術(shù)的基礎(chǔ)上，提出紫外LED光纖光刻技術(shù)，分析了紫外LED作為光刻光源的優(yōu)勢(shì)，

2、進(jìn)行了光源設(shè)計(jì)、光刻系統(tǒng)光學(xué)設(shè)計(jì)、掃描系統(tǒng)設(shè)計(jì)等，在光學(xué)設(shè)計(jì)時(shí)考慮了光源相干性，引入了部分相干光理論，所有光路均采用單透鏡實(shí)現(xiàn)，使結(jié)構(gòu)達(dá)到了最簡(jiǎn)化，最后進(jìn)行了光刻實(shí)驗(yàn)。
　　 本文的主要工作內(nèi)容如下：
　　 ①根據(jù)大功率紫外LED的驅(qū)動(dòng)、熱學(xué)特點(diǎn)和光刻系統(tǒng)的要求，設(shè)計(jì)了LED驅(qū)動(dòng)電路和的亮度控制電路，設(shè)計(jì)加工了散熱裝置。
　　 ②根據(jù)大功率LED的光學(xué)特性，設(shè)計(jì)了準(zhǔn)直光路，根據(jù)準(zhǔn)直光束的性質(zhì)，設(shè)計(jì)了光纖耦合光路。