晶圓搬運(yùn)機(jī)器人的開發(fā)及控制系統(tǒng)設(shè)計(jì).pdf

1、本課題以基于SCARA(Selective Compliance Assembly Robot Arm)機(jī)械臂模型的直驅(qū)晶圓搬運(yùn)機(jī)器人為研究核心，開發(fā)出用于半導(dǎo)體制造行業(yè)特定生產(chǎn)工序的晶圓搬運(yùn)機(jī)器人。
　　控制系統(tǒng)是晶圓搬運(yùn)機(jī)器人的神經(jīng)中樞，根據(jù)其工作和運(yùn)動(dòng)的特點(diǎn)，采用了以基于PC的固高公司多軸運(yùn)動(dòng)控制卡GT400為核心的控制方案。根據(jù)晶圓搬運(yùn)機(jī)器人的點(diǎn)位控制特點(diǎn)確定了伺服系統(tǒng)的速度控制模式。在實(shí)際生產(chǎn)中機(jī)器人必須具備安全、穩(wěn)定和

2、高精度運(yùn)行這三個(gè)指標(biāo)，為了實(shí)現(xiàn)這三個(gè)指標(biāo)，本文在多方面進(jìn)行了研究：
　?。?）對(duì)機(jī)械臂的機(jī)械結(jié)構(gòu)進(jìn)行探討，分析各種機(jī)械結(jié)構(gòu)的可行性并選定SCARA模型，為了提高性能采用直驅(qū)技術(shù)；
　?。?）為了描述機(jī)械臂的姿態(tài)及末端插盤的空間位置，分別用運(yùn)動(dòng)學(xué)方程和動(dòng)力學(xué)方程建立數(shù)學(xué)模型；
　　（3）分析了冗余機(jī)構(gòu)在完成特定任務(wù)（末端特定軌跡，避障等）時(shí)各個(gè)關(guān)節(jié)之間的關(guān)系，并優(yōu)化各個(gè)關(guān)節(jié)實(shí)時(shí)的位置，速度，加速度；
　?。?）運(yùn)行