晶圓搬運機器人的開發(fā)及控制系統設計.pdf

1、本課題以基于SCARA(Selective Compliance Assembly Robot Arm)機械臂模型的直驅晶圓搬運機器人為研究核心，開發(fā)出用于半導體制造行業(yè)特定生產工序的晶圓搬運機器人。
　　控制系統是晶圓搬運機器人的神經中樞，根據其工作和運動的特點，采用了以基于PC的固高公司多軸運動控制卡GT400為核心的控制方案。根據晶圓搬運機器人的點位控制特點確定了伺服系統的速度控制模式。在實際生產中機器人必須具備安全、穩(wěn)定和

2、高精度運行這三個指標，為了實現這三個指標，本文在多方面進行了研究：
　?。?）對機械臂的機械結構進行探討，分析各種機械結構的可行性并選定SCARA模型，為了提高性能采用直驅技術；
　?。?）為了描述機械臂的姿態(tài)及末端插盤的空間位置，分別用運動學方程和動力學方程建立數學模型；
　?。?）分析了冗余機構在完成特定任務（末端特定軌跡，避障等）時各個關節(jié)之間的關系，并優(yōu)化各個關節(jié)實時的位置，速度，加速度；
　　（4）運行