晶圓搬運(yùn)機(jī)器人的軌跡規(guī)劃及伺服系統(tǒng)實(shí)現(xiàn).pdf_第1頁(yè)
已閱讀1頁(yè)，還剩63頁(yè)未讀， 繼續(xù)免費(fèi)閱讀

下載本文檔

版權(quán)說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡(jiǎn)介

1、近些年來(lái)，SCARA機(jī)器人在半導(dǎo)體工業(yè)中得到了廣泛的使用，該型機(jī)器人具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，速度快等特點(diǎn)。本文基于新型直接驅(qū)動(dòng)晶圓搬運(yùn)機(jī)器人，提出了新的任務(wù)空間軌跡規(guī)劃方法，同時(shí)，討論了機(jī)器人的運(yùn)動(dòng)控制方案，以及晶圓搬運(yùn)機(jī)器人伺服系統(tǒng)選型、搭建和實(shí)驗(yàn)。
　　文中首先建立了晶圓搬運(yùn)機(jī)器人的剛體模型，包括運(yùn)動(dòng)學(xué)和動(dòng)力學(xué)模型。為軌跡規(guī)劃和控制器設(shè)計(jì)提供了相應(yīng)的信息。其次，文中提出了基于剛體動(dòng)力學(xué)模型的軌跡規(guī)劃算法。再次，文章在運(yùn)動(dòng)控制方面也做了一

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無(wú)特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽，若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫(kù)僅提供信息存儲(chǔ)空間，僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理，對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容，請(qǐng)與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

最新文檔

評(píng)論

0/150

提交評(píng)論