單刀雙擲的RFMEMS開關的設計與研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、近年來，射頻微電子機械系統(tǒng)(RF MEMS)技術在現(xiàn)代通信領域中越來越受到重視。與傳統(tǒng)的半導體開關相比，RF MEMS 開關具有低插入損耗、高隔離度、線性度好等優(yōu)點。隨著RF MEMS 開關研究地深入及可靠性的提高，其市場會越來越廣闊。本文設計了四種單刀雙擲RF MEMS開關，這四種開關都是建立在并聯(lián)固支梁式開關和串聯(lián)懸臂梁式單刀單擲開關的基礎上。通過對單刀雙擲開關的討論與分析，相同的原理可以應用于包含有單刀多擲和雙刀雙擲的開關陣列中。

2、本文首先分析了并聯(lián)和串聯(lián)兩種單刀單擲開關的工作原理，在保證特征阻抗匹配和深入研究傳輸線影響因素的基礎上，先進行兩種單刀單擲開關的設計。然后根據(jù)這兩種單刀單擲開關設計出了四種不同結構的單刀雙擲開關。單刀雙擲開關中兩個開關的距離以及輸入端的結構是設計時需要重點考慮的。兩種并聯(lián)設計的單刀雙擲開關均應用于20-40GHz，串聯(lián)設計的開關應用于0-20GHz，而另一種單刀雙擲開關，一端采用的并聯(lián)固支梁式開關，另一端采用的串聯(lián)懸臂梁式開關，當兩個輸

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