靶材粘結和超聲波檢測技術在液晶鍍膜中的應用.pdf

1、液晶行業(yè)廣泛使用的濺射鍍膜用材料靶材在濺射時需要有背板的支撐，而靶材與背板的結合是否結實可靠則非常重要，如果粘結層的性能不能達到要求則很容易造成濺射過程中的“脫靶”，從而導致濺射鍍膜失敗。所謂靶材粘結就是將靶材、背板用粘結材料粘結在一起的過程。本文通過行業(yè)中最常用的鋁靶，無氧銅背板，采用次貴金屬銦作為粘結材料，設計了G5代鋁靶的粘結工藝流程。課題主要研究了粘結工藝中時間、溫度、材料性能三者之間的關系，并通過超聲波探傷儀對粘結產(chǎn)品進行了內

2、部探傷檢測，以證實所設計工藝的可行性和可靠性。
　　 利用大型反轉裝置，高溫加熱臺進行了1431×1700×12mm鋁靶的粘結實驗，研究了加熱時間和相關參數(shù)的設置，對于粘結質量影響較大的表面氧化物的處理，以及為了提高粘結層質量而設置的超聲波振蕩器的應用。并利用墊具、C型卡扣對粘結后的靶材進行平面度修正。
　　 利用超聲波探傷儀對粘結靶材的有效結合面、四分品的有效結合面以及單個缺陷進行檢測，各項參數(shù)均符合行業(yè)標準要求。