基于米洛干涉顯微鏡的表面粗糙度的測(cè)量.pdf

1、表面粗糙度是表面微觀不平整度的一種度量，它對(duì)光學(xué)元件和機(jī)械零件的性能有著重要影響。表面粗糙度的測(cè)量在工業(yè)加工領(lǐng)域得到了越來(lái)越多的重視。傳統(tǒng)測(cè)量表面粗糙度的方法有比較法，觸針?lè)?，光切法，干涉法等，但這些方法都各自存在一定的缺陷。因此需要提出一種新的方法來(lái)克服這些缺陷。
　　 為了實(shí)現(xiàn)樣塊表面粗糙度參數(shù)的快速，無(wú)損，自動(dòng)測(cè)量，研究了一種新的表面粗糙度測(cè)量系統(tǒng)。該系統(tǒng)是在米洛干涉顯微鏡的基礎(chǔ)上，結(jié)合數(shù)字圖像處理技術(shù)，實(shí)現(xiàn)樣品表面粗糙度

2、的測(cè)量。該系統(tǒng)主要由米洛干涉顯微鏡，CCD攝像機(jī)，計(jì)算機(jī)和超聲波電機(jī)組成。首先通過(guò)米洛干涉顯微系統(tǒng)對(duì)樣塊表面干涉成像，然后將由CCD攝像機(jī)采集到的干涉圖像，送入計(jì)算機(jī)進(jìn)行存儲(chǔ)。然后利用數(shù)字圖像處理技術(shù)對(duì)干涉圖像進(jìn)行預(yù)處理，二值化，細(xì)化，提取出樣塊表面產(chǎn)生的干涉條紋信息。最后對(duì)提取的干涉條紋進(jìn)行最小二乘直線(xiàn)擬合，求出樣塊表面粗糙度的評(píng)定參數(shù)。此外，該系統(tǒng)還可以實(shí)現(xiàn)對(duì)薄膜厚度小于半波長(zhǎng)的薄膜進(jìn)行測(cè)量。
　　 與傳統(tǒng)的測(cè)量方法相比，本