簡明指導--用光切顯微鏡測量表面粗糙度

1、實驗用光切顯微鏡測量表面粗糙度一、目的與要求1、學習光切顯微鏡測量表面粗糙度的原理和方法；2、了解微觀不平度十點高度Rz的實際含義。二、測量原理光切顯微鏡是利用光切法來測量表面粗糙度的，其原理如圖31所示。由光源發(fā)出的光經(jīng)過聚光鏡2，穿過狹縫3形成帶狀光束。光束再經(jīng)物鏡4以45度角射向工件5，在凹凸不平的表面上呈現(xiàn)出曲折光帶，再以45度角反射，經(jīng)物鏡6到達分劃板7上。從目鏡看到的曲折亮帶，有兩個邊界，光帶影像邊界的曲折程度表示影像的峰谷

2、高度h?。h?與表面凸起的實際高度h之間的關(guān)系為式中，M為物鏡6的放大倍數(shù)。在目鏡視場里，高度h?是沿45度方向測量的，若在目鏡測微器7的讀數(shù)值為H，則h?與H的關(guān)系為h?=Hcos45?將前后兩式代入可得，，令，則MHMHh2245cos0??EM?21。系數(shù)E作為目鏡測微器裝在光切顯微鏡上使用時的分度值。E值與物鏡HEh??的放大倍數(shù)M有關(guān)，一般它已由儀器說明書給定。從目鏡測微計上分別讀取各峰、谷的讀數(shù)h1h2…..h10，按下式算

3、出微對不平度十點高度Rz，即5)108642()97531(hhhhhhhhhhERz??????????式中，hi的單位為格數(shù)。６、于零件各部分的粗糙度不一定均勻一致，為了充分反映表面粗糙度的特性，必須在一定長度范圍內(nèi)的不同部位進行測量并取其平均值。７、按表面粗糙度國家標準，確定工件表面粗糙度是否符合要求。數(shù)據(jù)表格：光切顯微鏡測量表面粗糙度光切顯微鏡測量表面粗糙度儀器型號及規(guī)格：儀器測量范圍：被測零件要求表面粗糙度Rz=所選用的物鏡放