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文檔簡(jiǎn)介
1、 本文首先研究了原子力顯微鏡的工作原理、成像過(guò)程、儀器結(jié)構(gòu)和工作模式。并對(duì)探針的膨脹作用、掃描圖像的濾波去噪等測(cè)量時(shí)存在的問(wèn)題進(jìn)行了分析。介紹了采用原子力顯微鏡測(cè)量半導(dǎo)體刻線邊緣粗糙度的方法。 本文提出了一種基于圖像處理確定線邊緣的算法，利用Matlab開(kāi)發(fā)了相應(yīng)軟件并計(jì)算出表征線邊緣粗糙度的幅值參數(shù)。用所提出的算法對(duì)測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行了處理，分析了影響測(cè)量結(jié)果的各種主要因素。并對(duì)使用普通探針、Ultrasharp探針和碳納米管探
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