TiNi合金室溫變形、組織結(jié)構(gòu)及薄膜的制備.pdf

1、本文研究了Ti-50.7at﹪Ni合金在室溫時的超彈性及壓縮變形形變誘發(fā)馬氏體，揭示了室溫壓縮變形形變誘發(fā)馬氏體演變過程，對比了磁控濺射和離子束濺射方法制備薄膜的顯微組織性能，明確了薄膜的制備及晶化處理工藝，并觀察了TiNi薄膜在溫度作用下的馬氏體組織。得出以下結(jié)論： （1）Ti-50.7at﹪Ni合金在拉伸變形應(yīng)變量約4﹪、壓縮變形名義變形量為30﹪時產(chǎn)生超彈性。 （2）壓縮變形可以產(chǎn)生形變誘發(fā)馬氏體。隨著壓縮變

2、形量的增加，板條數(shù)量逐漸增多并沿壓縮變形的方向趨于一致，馬氏體變體發(fā)生畸變、粗化、甚至交叉，馬氏體板條內(nèi)也引入了位錯。 （3）離子束濺射制備的TiNi薄膜表面十分致密，薄膜非晶度很高，主要是非晶態(tài)團狀組織結(jié)構(gòu)；磁控濺射法制備的TiNi薄膜表面均勻致密有氣孔，由于基片自然溫升，薄膜有一定程度的晶化，并有析出相產(chǎn)生。 （4）在本實驗條件下優(yōu)選出來的制膜方法為磁控濺射法，工藝參數(shù)為濺射電流0.6 A，真空度0.6Pa，氬氣