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文檔簡介
1、大連理工大學(xué)博士學(xué)位論文TiNi形狀記憶合金薄膜制備工藝及其單元互聯(lián)微執(zhí)行器研究姓名:曲炳郡申請學(xué)位級別:博士專業(yè):機(jī)械電子工程指導(dǎo)教師:王立鼎20010901中的應(yīng)用。有別于傳統(tǒng)方法,采用濺射的Pt膜作為ItNi薄膜在HT,lINOdlq20中腐蝕的保護(hù)掩膜。大量試驗(yàn)表明:配比為35ml:27ml:118ml的HF/I]N03/H20腐蝕系統(tǒng)對TiNi薄膜具有較快的腐蝕速率,而且對Si的腐蝕不明顯,因而適合于硅基TiNi形狀記憶薄膜的
2、濕法腐蝕。同時(shí),Pt掩膜在瑚坍NOdrt20腐蝕系統(tǒng)中具有抗腐蝕力強(qiáng)、不脫落的特點(diǎn),是腐蝕較厚髑喇膜(15pm)的理想掩膜材料。此外,研究了Si基TtNi形狀記憶薄膜的結(jié)構(gòu)釋放工藝,并通過實(shí)驗(yàn)得到了理想的工藝模塊。以微機(jī)器人為應(yīng)用背景,研制了Tdqi形狀記J乙薄膜驅(qū)動的雙薄膜型SMA旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié),建立了該關(guān)節(jié)的驅(qū)動模型。通過三個(gè)SMA旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)互聯(lián),研制出由一個(gè)微操作臂和~個(gè)微手爪構(gòu)成的二維微機(jī)器人原型,建立了其運(yùn)動學(xué)方程,并進(jìn)行了驅(qū)動特性研
3、究。以微小物體操作為背景,研制了T酣i形狀記憶薄膜驅(qū)動硅微夾持器。試驗(yàn)表明:微夾持力穩(wěn)定輸出為11ran,夾持尺寸范圍在1664011tm之間,驅(qū)動功率03W,表明Ⅱ哺形狀記憶薄膜具有用于微執(zhí)行器的突出優(yōu)勢。綜上所述,本文基于SMA的驅(qū)動機(jī)理所提出的單元互聯(lián)方法,能夠從結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)角度改進(jìn)SMA驅(qū)動特性的不足,這對于拓展SMA的應(yīng)用范圍具有重要意義。所研制的雙薄膜型SMA旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié),在易于微型化的同時(shí),既避免了傳統(tǒng)機(jī)械式運(yùn)動副存在摩擦和裝配間
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