40kW中頻脈沖濺射電源設(shè)計(jì).pdf

1、隨著生產(chǎn)生活和科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展，用戶對(duì)鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量的要求越來(lái)越高，需求量也越來(lái)越大。這就要求鍍膜設(shè)備具有較高的精度、良好的穩(wěn)定性，具有較高的鍍膜效率和鍍膜質(zhì)量。磁控濺射作為鍍膜技術(shù)的一個(gè)重要分支，也相應(yīng)的得到了較快的發(fā)展，它分為直流磁控濺射，非平衡磁控濺射，射頻磁控濺射和脈沖磁控濺射等磁控濺射方式。脈沖磁控濺射因其濺射效率高，濺射工藝也高于其它磁控濺射方式而成為目前磁控濺射領(lǐng)域的發(fā)展熱門。在脈沖磁控濺射中，關(guān)鍵部分脈沖磁控濺射電源。目

2、前，脈沖磁控濺射電源向大功率、高頻化方向發(fā)展，據(jù)有關(guān)實(shí)驗(yàn)研究和測(cè)試，脈沖磁控濺射電源的頻率通常在10kHz～200kHz之間為易。由于開(kāi)關(guān)電源的高頻化使得開(kāi)關(guān)電源的損耗增加，因此，人們開(kāi)始使用零電壓或零電流的軟開(kāi)關(guān)方式來(lái)減小開(kāi)關(guān)損耗。 本研究利用移相軟開(kāi)關(guān)技術(shù)設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了20kHz中頻脈沖磁控濺射電源。該電源采用移相控制方式，實(shí)現(xiàn)IGBT的零電壓軟開(kāi)關(guān)，大大降低了電源的開(kāi)關(guān)損耗，提高了電源的效率。同時(shí)，采用20kHz的開(kāi)關(guān)頻率，使