磁控濺射電源關(guān)鍵技術(shù)的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、磁控濺射工藝中負(fù)載為等離子體,其負(fù)載特性與改善電源輸出質(zhì)量有著密切的關(guān)系。本文通過已有實驗結(jié)果的分析,提出了一種磁控濺射等離子體負(fù)載的等效電路模型,歸納出等離子體特性對工藝、電源的影響,并給出模型參數(shù)的計算方法。設(shè)計出以Boost電路為主要結(jié)構(gòu)的啟動模塊,并提出相應(yīng)的啟動策略,達(dá)到了新型磁控濺射工藝所要求的高壓啟動；提出了一種二極管續(xù)流電路,解決了由于負(fù)載的非阻性引起的電源輸出震蕩問題；結(jié)合雙靶工藝指標(biāo),設(shè)計出兩路輸出磁控濺射脈沖電源的

2、主電路拓?fù)?；分析了移相全橋ZVS-PWM-DC/DC (Zero-Voltage-Switch Pulse-Width-Modulati on DC/DC)變換器的工作原理,設(shè)計出了在寬負(fù)載條件下能夠?qū)崿F(xiàn)零電壓通斷的變換器結(jié)構(gòu)參數(shù)。本文對所設(shè)計的電源系統(tǒng)進行了基于PSPICE、SIMULINK的仿真分析,制作模塊單板進行了實驗,從實驗波形上可以看出,該設(shè)計實現(xiàn)了兩路輸出磁控濺射脈沖電源的高壓啟動并且穩(wěn)定了輸出,同時實現(xiàn)了,提高了電源的整

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