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1、隨著薄膜科學與技術(shù)的發(fā)展,各種薄膜制備方法得到了迅速發(fā)展,傳統(tǒng)的所謂鍍膜,已從單一的真空蒸發(fā)發(fā)展到包括蒸鍍、離子鍍、濺射鍍膜、化學氣相沉積(CVD)、PECVD、MOCVD、分子束外延(MBE)、液相生長、微波法及微波電子共旋(MWECR)等在內(nèi)的成膜技術(shù).其中電子束蒸發(fā)技術(shù)是一種常用的薄膜制備技術(shù),它具有成膜質(zhì)量高,速率可控性好,通用性強等優(yōu)點.該文采用SEM、TEM、XPS、XRD、橢圓偏振儀(SE)、UV-VIS分光光度計等分析手
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