MEMS溫度傳感器批量檢測系統(tǒng).pdf

1、溫度與我們的生產(chǎn)生活息息相關(guān)，溫度的測量需要采用溫度傳感器來進行。當(dāng)今傳感器的一個明顯發(fā)展趨勢：沿用傳統(tǒng)傳感器的檢測原理，優(yōu)先選用半導(dǎo)體材料，利用MEMS技術(shù)，從傳統(tǒng)的傳感器設(shè)計和應(yīng)用，轉(zhuǎn)向以微機械和微電子為基礎(chǔ)的微型傳感器和智能傳感器的設(shè)計和應(yīng)用。數(shù)字溫度傳感器市場穩(wěn)步快速發(fā)展，但是落后的檢測方法及手工檢測造成的低效率，成為制約其批量生產(chǎn)和影響產(chǎn)品質(zhì)量的主要因素。因此如何實現(xiàn)數(shù)字溫度傳感器的自動批量檢測，成為大幅提高生產(chǎn)效率的主要問題

2、，有必要設(shè)計開發(fā)出一套高效實用的傳感器批量檢測系統(tǒng)。
　　本文以數(shù)字溫度傳感器SHT75為實驗對象，結(jié)合虛擬儀器技術(shù)，設(shè)計了數(shù)字溫度傳感器的批量檢測系統(tǒng)，具有多通道選擇、任意溫度點測量、傳感器參數(shù)標(biāo)定和數(shù)據(jù)傳輸存儲等功能。本文首先介紹了檢測系統(tǒng)整體方案的設(shè)計，隨后重點介紹了檢測系統(tǒng)的兩個核心模塊--下位機數(shù)據(jù)采集模塊和上位機系統(tǒng)軟件模塊--的設(shè)計與實現(xiàn)，最后講述了系統(tǒng)運行的結(jié)果，總結(jié)已完成的工作和需要改進的部分。
　　本文進

3、行了如下研究工作：
　　1.設(shè)計了一套64通道的數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)，實現(xiàn)了對SHT75數(shù)字溫度傳感器的批量采集，并能與上位機進行可靠通訊。
　　2.自動控制溫度源，可以任意選擇溫度檢測點，實現(xiàn)檢測的自動控制。
　　3.實現(xiàn)了檢測儀器的虛擬化，用戶在高度交互性的虛擬控制面板上進行簡單操作，就能實現(xiàn)檢測過程的設(shè)置與控制。
　　4.對采集數(shù)據(jù)進行線性擬合，給出線性參數(shù)，并將數(shù)據(jù)保存至Excel文件。
　　本系統(tǒng)的研制，