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1、 納米技術(shù)發(fā)展的最終的目的是加工出特定功能的納米器件。加工納米量級結(jié)構(gòu)是整個(gè)納米技術(shù)的基礎(chǔ)，已成為當(dāng)前世界科學(xué)研究急需解決的問題?！ ”疚膶Υ髿鉅顟B(tài)下基于AFM的電場加工進(jìn)行了系統(tǒng)的研究和分析，以期探索一種加工出更加穩(wěn)定、具有更快的加工速度、良好性能的氧化結(jié)構(gòu)的納米加工方法。文章分析了樣品-探針間的高密度電流如何受偏置電壓和探針-樣品間距的影響；研究了探針與樣品間的電場分布特點(diǎn)并對其進(jìn)行Matlab模擬；論述了AFM的氧化加工的動力
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