電化學(xué)沉積過(guò)程中的智能控溫磁力攪拌技術(shù)研究.pdf

1、隨著現(xiàn)代高科技技術(shù)的發(fā)展，電化學(xué)沉積技術(shù)的研究不斷深入，其應(yīng)用領(lǐng)域也越來(lái)越廣泛，而在電化學(xué)沉積試驗(yàn)過(guò)程中溶液溫度與攪拌技術(shù)對(duì)其效果起著決定性的作用，因此本研究旨在設(shè)計(jì)和探索一種在電化學(xué)沉積過(guò)程應(yīng)用的智能控溫磁力攪拌技術(shù)，推動(dòng)電化學(xué)沉積技術(shù)獲得更新更快的發(fā)展。
　　普通攪拌技術(shù)用老式溫度傳感器測(cè)溫，不但精度差，測(cè)量溫度范圍窄，且價(jià)格很高，使用麻煩。本文針對(duì)電沉積試驗(yàn)準(zhǔn)確控制溶液溫度和均勻攪拌的需要，研究了智能控溫型磁力攪拌技術(shù)，與普

2、通攪拌技術(shù)相比較，主要工作內(nèi)容包括以下三個(gè)方面：首先是測(cè)溫與控溫方式的改變，我們研究的攪拌技術(shù)采用PT100采集溫度，溫度采集范圍從-200度到600度，程序自動(dòng)對(duì)溫度進(jìn)行線性校準(zhǔn)，程序通過(guò)AD將模擬溫度信號(hào)轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)后查表得到溫度值，溫度精度值高，而控溫采用的是智能PID控溫，溫度過(guò)沖很小，恒溫精度高。其次是高精度轉(zhuǎn)速控制的改變，我們研究并設(shè)計(jì)的攪拌技術(shù)通過(guò)槽型光耦測(cè)量電機(jī)的轉(zhuǎn)速，這也是設(shè)計(jì)中的一大亮點(diǎn)，有低成本高精度的優(yōu)點(diǎn)。而且

3、這種新型攪拌技術(shù)可以按照實(shí)際測(cè)量的轉(zhuǎn)速精確控制攪拌速度，真正實(shí)現(xiàn)精確控溫精確控速的智能攪拌技術(shù)。最后是單片機(jī)方式的改變，設(shè)計(jì)中采用C8051F350為核心控制芯片，這款芯片內(nèi)部集成AD和DA，功能強(qiáng)大，同樣頻率處理速度是普通51單片機(jī)的10倍。在設(shè)計(jì)和研究過(guò)程中，將智能磁力攪拌技術(shù)與普通攪拌技術(shù)進(jìn)行了對(duì)比試驗(yàn)，通過(guò)對(duì)試驗(yàn)數(shù)據(jù)的多次分析和反復(fù)優(yōu)化，實(shí)現(xiàn)了對(duì)電沉積溶液溫度和攪拌速度的精確控制，實(shí)用性能得到了顯著提高。
　　本文以電沉積