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文檔簡介
1、該論文研究硅微梁結(jié)構(gòu)在平板電容器組成的電場中的振動(dòng)情況.對于物體在線性力作用下的振動(dòng)情況,已經(jīng)有了成熟的解法.但是,在MEMS微梁結(jié)構(gòu)中,電場力和位移之間并不是簡單的線性關(guān)系.因此,該文把這種非線性力的處理方法作為討論的重點(diǎn).我們首先建立微梁振動(dòng)的有限元模型,運(yùn)用分析力學(xué)、振動(dòng)理論,以及變分法、數(shù)值分析中的插值理論等數(shù)學(xué)工具,計(jì)算出每一個(gè)單元的剛度矩陣和質(zhì)量矩陣.然后,把這些矩陣合成,得到微梁在非線性力下的振動(dòng)方程.最后,用Matlab
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