電場中微梁結構的建模與分析.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、該論文研究硅微梁結構在平板電容器組成的電場中的振動情況.對于物體在線性力作用下的振動情況,已經(jīng)有了成熟的解法.但是,在MEMS微梁結構中,電場力和位移之間并不是簡單的線性關系.因此,該文把這種非線性力的處理方法作為討論的重點.我們首先建立微梁振動的有限元模型,運用分析力學、振動理論,以及變分法、數(shù)值分析中的插值理論等數(shù)學工具,計算出每一個單元的剛度矩陣和質量矩陣.然后,把這些矩陣合成,得到微梁在非線性力下的振動方程.最后,用Matlab

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