硅微型泵的研制.pdf

1、該文首先介紹了微機(jī)械加工的微型泵的研制過程,探討了微型泵的多種結(jié)構(gòu),分析了閥門式和無閥式微型泵的結(jié)構(gòu)和工作原理,對(duì)擴(kuò)散管/噴嘴結(jié)構(gòu)流體輸運(yùn)理論進(jìn)行了必要的分析和理論推導(dǎo),闡明了這種無閥式結(jié)構(gòu)的可行性.其次在比較了微型泵的熱氣動(dòng)、壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)等幾種不同執(zhí)行器的設(shè)計(jì)方案的基礎(chǔ)上提出并設(shè)計(jì)電磁驅(qū)動(dòng)方案,它是通過交變電壓的作用,使線圈和附看在上面的振膜在固定磁場(chǎng)中作往復(fù)振動(dòng),在擴(kuò)散管/噴嘴結(jié)構(gòu)的作用下,可以將振膜帶來的能量轉(zhuǎn)變?yōu)榍惑w內(nèi)液體定向流

2、動(dòng)的推動(dòng)力,從而使液體在振膜的推動(dòng)下從人口流向出口.然后設(shè)計(jì)制作了可調(diào)電壓/頻率的數(shù)顯驅(qū)動(dòng)電路作為此微型泵交變電壓源,它主要采用ICL8038產(chǎn)生正弦波和方波,由TDA2822M進(jìn)行功率放大,通過精密整流和LM331的電壓頻率變換,將輸出的電壓和頻率通過單片機(jī)在LED上進(jìn)行顯示.接著對(duì)微型壓力腔室的總體結(jié)構(gòu)進(jìn)行了版圖設(shè)計(jì).通過對(duì)KOH腐蝕系統(tǒng)和鍵合技術(shù)的一些理論研究,對(duì)微型壓力腔室和振膜的制備進(jìn)行單項(xiàng)實(shí)驗(yàn),主要采用KOH系統(tǒng)各向異性腐蝕