微型氣相色譜柱的研制.pdf

1、色譜技術以其分離效率高，分析速度快，選擇性高，分析樣品用量少等眾多優(yōu)點，目前已成為一種相當成熟且應用廣泛的分離分析方法。近年來隨著半導體器件制作工藝、芯片加工技術、精細微加工手段等一系列新興技術的不斷成熟化，各種微型氣相色譜儀的研究與開發(fā)已經成為當前氣相色譜技術的研究重點，而小型、輕便、快速的微型氣相色譜儀已經成為發(fā)展的趨勢。
　　本文從氣相色譜領域出發(fā)，詳細地介紹了氣相色譜在當今的應用并全面地總結了基于微機電技術的微型氣相色譜系

2、統(tǒng)的研究現(xiàn)狀和最新進展，討論了氣相色譜的兩種主要理論：塔板理論與速率理論，并根據(jù)相關理論確定出了器件的最終設計方案：長度1 m，寬度150μm，深300μm的蛇形開管和半填充色譜柱，同時摸索并確定了色譜柱的MEMS微細加工工藝，在物理結構的實現(xiàn)上嘗試了干法刻蝕與濕法刻蝕兩種主流的刻蝕手法，取得了成功。最后與pyrex7740玻璃進行鍵合密封完成了最終的器件制作。
　　目前主流的固定相涂敷方式可分為靜態(tài)涂敷和動態(tài)涂敷，本文采用優(yōu)勢更