基于硅表面的微型氣相色譜研究.pdf

1、色譜法是一種分離和分析的方法，在分析化學(xué)、有機化學(xué)、生物化學(xué)等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。但是，傳統(tǒng)色譜法由于體積龐大、不利于攜帶等缺點，無法滿足分析檢測“時效性”和“便攜性”的需求。隨著近年來MEMS技術(shù)和半導(dǎo)體器件工藝技術(shù)的發(fā)展和成熟，各種微型氣相色譜儀已經(jīng)成為當(dāng)前色譜研究的熱點。由于微型氣相色譜具有體積小，能耗低等優(yōu)點，微型氣相色譜在藥物監(jiān)測，環(huán)境保護和航天事業(yè)中具有非常廣闊的應(yīng)用前景。
　　本文基于實驗室超凈間微納加工平臺，研究制

2、備了一種新型的高性能微型色譜柱芯片。同時將其運用到實際的測試中，取得了非常好的實驗結(jié)果。基于該結(jié)構(gòu)，我們提出了多種實際應(yīng)用的可能性。具體研究內(nèi)容如下：
　　1.通過實驗摸索，獲得了成熟的微型色譜柱制備工藝。根據(jù)實驗室MEMS工藝環(huán)境，成功制備出一種具有溝道長3m，寬150μm，深300μm且含有直徑為30μm圓柱體的微型氣相色譜柱，該色譜柱能夠分離具有13種正構(gòu)烷烴的混合物。
　　2.研究了碳納米管和石墨烯等微納材料對固定相