摻鉺光波導薄膜的制備工藝及其特性研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、隨著光纖通信和集成光電子學的發(fā)展,摻鉺光波導放大器成為光纖通信與光電子學領(lǐng)域研究的熱點.光波導放大器的開發(fā)需要光波導薄膜材料的研制.該文探討了Er<'3+>-AI<,2>O<,3>光波導薄膜制備的離子束增強沉積工藝和Er<'3+>-TiO<,2>、Er<'3+>-SiO<,2>、Er<'3+>-TiO<,2>/SiO<,2>薄膜、玻璃制備的溶膠-凝膠工藝.對離子束增強沉積工藝制備的薄膜,采用RBS、EDX和XPS進行成分分析,測定了薄膜

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