摻鉺光波導薄膜的制備與特性研究.pdf_第1頁
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1、大連理工大學碩士學位論文摻鉺光波導薄膜的制備與特性研究姓名：高菘申請學位級別：碩士專業(yè)：等離子體物理指導教師：張慶瑜20020601摻鉺光波導薄膜的制備與特性研究AbstractWiththedevelopmentofopticalcommunicationandintegratedopto—electronics，MoreandmoreattentionwaspayedtOEr3_dopedopticalwflve—guideampl

2、ifier(EDWA)Er—dopedlhinfilmsareneededtodevelopEr“dopedopticalwaveguideamplifier(EDWA)ThisthesisdetaileddiscussesthepreparationofEr“SiOxwaveguidefilmwithon—beamenhanceddeposition(IBED)technologyandthepreparationofEr”Si02，

3、Er”，A1203，filmandglasswithelectronbeamevaporationtechnologyThecompositionandstructureofthefilmssynthesizedbyIBEDwereexaminedbyRBS，XRDandEDXThePhotoluminescencespectraatI535nmofEr”一SiOxfilmsweremeasuredwithpumpedTherelati

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