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文檔簡介
1、東南大學碩士學位論文快速納米薄膜成形裝置研制及(Ba、Sr)TiO薄膜成形性研究姓名:丁歷申請學位級別:碩士專業(yè):材料加工工程指導教師:廖恒成20060401AbstractAbstractDevelopmentofhigh—ratefomlerfornanothinfiImsandstudyontheformabilityof(Ba,Sr)TiOathinfiJmDTNGLiSupervisedbyLIAOHengchengSouth
2、eastUniversityDuetoitshi【ghdielectricconstantlowleakagecurrentlowdielectricloss,andadjustableCurietemperature,Bariumstrontiumtitanate(BaSr)Ti03(BSDferroeleetricmaterialhaswicIeapplicationsindynamicrandomaccessmemories(DR
3、AM)phaseshifterandthermalinfraredimagerPreparationofBSTfilmsbySolgelbecomesoneofhotpointsofmaterialsresearchdomesticandabroad,duetoitsacenratestoichiometricproportionandeasycontr01Toimprovethefunctionsoftheordilla=ryspin
4、coaterahighrateformerfornanothinfilmsWasdevelopedintegratinghighrateformation,photolysisandthermolysisofnanothinfilmsBa07Sro3T10303sa3wetgelpowder謝mandwithoutchelatingagent(HAcAc)werepreparedbysolgel,IIsingBa(Ac)2,Sr(Ac)
5、2andTi(OC4H9)4assotlrcematerialsTheeffectofHAeAconthethermolysisandcrystallizationcharacteristicsofBSTwasinvestigatedbyDSCTGXRDandSEMResultsindicatedthat謝tlltheadditionofHAcAc,thehydrolyticactivityofTi(OC4n9)4becamemuchw
6、eakerandthetemperaturerangeofthermolysiswasenlargedandthemainexothermalreactionsduringthermolysismovedtohightemperatureMoreoverduringthephaseevolutionofcrystallizationofBST,twopathstoformperovskitephasewerepointedoutname
7、lydirectdecompositionofmonointermediatesordiffusionreactionamongmultiintermediatesrespectivelyChelatingagents(HAcAc)hadaninfluenceonthecrystallizationcharacteristicofBSTtransferringfromwetgeltopowdersBa07St03T103(BSnthil
8、lfilmswerepreparedonSi(100)substratebysolgeltechniquewithprecursorsthathavedifferentconcentrationspHvaluesand、ⅣimdifferentspinspeedsTheinfluenceofBSTconcentrationinprecursorpHvalueofthesolutionandspinspeedontheformabilit
9、yofBSTthinfilmWnsinvestigatedbyXRD,SEMandAFM,ResetsshowedthatthesurfaceofBSTthinfilmwasstillcompactedandhomogeneous,butlocalimpurityphasewithlargergrainsizewasemerged稍tllincreaseintheBSTconcentrationinprecursor;withdecre
10、aseinpHvalue(26)ofprecursorvisibleeonglobationofgrainswasobserveded;whenthespinspeedWastoolowthesurfaceoffilmwasnothomogeneousandtoohighSpiIlspeedwouldcausecrackoffilmBycomparisonitWasconcludedthatwhentheBSTconcentration
11、inprecursorwasO45MpHvalueWas403andspinspeedwas3000rpmtheBa07Sro3Ti03thinfilmWascrack—fTee,compacted,andhadalmostcompleteperovskitephaseandhomogeneousgrainsizedistributionKeyword:nanothinfilm,bariumstrontiumtitanate,sol—g
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