共基面二維掃描同步計(jì)量工作臺(tái)研制.pdf

1、精密二維掃描工作臺(tái)是三維表面形貌測(cè)量?jī)x器的重要基礎(chǔ)。研制定位精度高、運(yùn)動(dòng)面平面度高、運(yùn)行平穩(wěn)的高性能精密二維掃描工作臺(tái)對(duì)于提高三維表面形貌儀器性能具有重大意義。為此，本文研究共基面二維掃描工作臺(tái)，研究基于透射式雙正交衍射光柵二維位移同步計(jì)量技術(shù)，建立了共基面二維掃描同步計(jì)量工作臺(tái)。
　　 論文首先采用特殊的機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，提出了共基面二維掃描工作臺(tái)結(jié)構(gòu)方案。該方案使得二維掃描工作臺(tái)的導(dǎo)向面處于同一平面上，實(shí)現(xiàn)了二維共基面掃描，有效

2、保證了二維掃描平面精度。并用有限元分析軟件ANSYS分析了該結(jié)構(gòu)方案的關(guān)鍵受力部件的變形及應(yīng)力，闡述了零部件的選型及參數(shù)設(shè)計(jì)方法。
　　 其次，提出了基于透射式雙正交光柵衍射干涉原理，實(shí)現(xiàn)二維位移同步計(jì)量方案。論文從波動(dòng)光學(xué)角度，分析論述了透射式雙正交光柵衍射干涉及實(shí)現(xiàn)二維掃描位移同步計(jì)量的原理，并基于其光路特點(diǎn)設(shè)計(jì)了計(jì)量系統(tǒng)的支撐結(jié)構(gòu)，給出了條紋信號(hào)的接收及計(jì)數(shù)的電路處理方案，實(shí)現(xiàn)計(jì)量系統(tǒng)的二維位移計(jì)量功能。
　　 第