納米級金屬薄膜厚度的SPR檢測方法研究.pdf

1、納米級金屬薄膜材料具有特殊的性能，在現(xiàn)代科技如微納光電子器件有著重要應用。該薄膜的特殊性能與其厚度密切相關，因此需要高精度測量厚度參量。目前能夠高精度測量納米級金屬薄膜的儀器主要是掃描探針顯微鏡(SPM)，橢網(wǎng)偏振光檢測儀以及臺階輪廓儀等等。但是由于價格昂貴和結構復雜，限制了它們更廣泛地應用。
　　 為了解決上述問題，研究設計了一種基于表而等離子體波共振(SPR)效應的馬赫-增德爾(Math-Zehnder)干涉相位檢測方法并搭

2、建了實驗系統(tǒng)。通過檢測薄膜厚度變化引起的干涉條紋變化實現(xiàn)對金屬薄膜厚度的測量。這種方法可以用于30nm到100nm之間的金屬薄膜厚度測量。其靈敏度高，結構更為簡單，測量精度為1nm。
　　 論文研究的主要內(nèi)容和創(chuàng)新點有：
　　 1.p偏光為測量光，s偏光為參考光，建立了薄膜厚度參數(shù)與兩種偏振光相位之間的數(shù)學關系并進行了理論模擬計算。
　　 2.根據(jù)表面等離子體波和激光干涉特點，搭建Math-Zehnder干涉結構