X射線測(cè)厚儀的研究與實(shí)現(xiàn).pdf

1、本論文利用X射線與物質(zhì)相互作用的原理對(duì)X射線測(cè)厚儀的標(biāo)定方法進(jìn)行了改進(jìn)，根據(jù)國外的經(jīng)驗(yàn)設(shè)計(jì)了一套以射線源、C型架、冷卻裝置、系統(tǒng)控制及采集等為主體的精度較高，工作較穩(wěn)定的X射線測(cè)厚設(shè)備，提高了測(cè)量精度。通過X射線穿過物質(zhì)時(shí)，強(qiáng)度的衰減與物質(zhì)厚度的關(guān)系來測(cè)量厚度。主要的工作如下： 首先介紹了測(cè)厚儀的發(fā)展過程及現(xiàn)狀，然后從理論上研究了測(cè)厚儀的工作原理。 本文的重點(diǎn)是X射線吸收的理論計(jì)算。在這部分討論了連續(xù)X射線譜的硬化，及硬

2、化對(duì)測(cè)厚造成的影響。由于能譜的硬化，物質(zhì)對(duì)X射線的吸收系數(shù)隨著厚度的增加而減小，從而導(dǎo)致了厚度測(cè)量精確度的降低。為了提高精確度，采用“等效單能譜”來代替全能譜進(jìn)行理論計(jì)算。實(shí)驗(yàn)中對(duì)X射線管加25kV與30kV管電壓，使不同強(qiáng)度X射線穿過一系列鋁箔后，利用數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)進(jìn)行模擬量電壓采集。利用X射線在物質(zhì)中的衰減規(guī)律計(jì)算得到不同厚度時(shí)鋁對(duì)X射線的吸收系數(shù)，并采用多項(xiàng)式法對(duì)鋁的吸收系數(shù)進(jìn)行標(biāo)定來消除X射線硬化在實(shí)際操作過程中對(duì)厚度測(cè)量的影響。